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产品详情
功能特点 |
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技术参数 | |
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电压 | AC220V 10A |
消耗功率 | <500W(包括真空泵) |
RF电源 | 输出功率100W,输出频率13.56MHz |
腔体 | Φ190mm×98mm |
细节图 | |
石英管 | Φ180mm×55mm,壁厚7mm |
内腔 | Φ165mm×55mm |
清洗电极 | Φ120mm |
样品台 | Φ150mm,有效尺寸Φ140mm |
样品台与电极间距 | 15mm-50mm可调 |
抽气管 | Φ12mm |
极限真空度 | 0.1Pa |
工作真空度 | 60Pa-500Pa |
气路数量 | 2路(选装) |
流量控制器数量 | 1、2 |
流量显示仪 | 2通道 |
气路接口 | Φ6mm |
加热样品台 | Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装) |
冷却水压力 | 0.2KPa-0.4KPa |
工作环境 | 温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m |
尺寸 | 245mm×235mm×460mm(不含真空泵) |
重量 | 20kg(不含真空泵) |
可选配置 | ● 加热样品台 ● 流量控制器(量程10、50、100,多可增加2个通道) |
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